全國服務(wù)熱線：
產(chǎn)品服務(wù)
1、CMOS，分立器件，功率器件， GeSi和埋層等外延
2、外延片直徑：76、100、125、150、200 mm
3、月生產(chǎn)能力10萬片以上(6英寸外延片)
4、10級潔凈廠房
5、外延爐：
LPE3061
LPE2061s
CSD EpiPro 5000
ASM Epsilon2000
Rexon 2
6、硅源：
三氯氫硅
二氯氫硅
硅烷
7、摻雜源：
B2H6
PH3
AsH3
8、生長模式:
常壓
減壓
9、客戶特定參數(shù)
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